Отрасль "Полупроводниковое производство"
3-й разряд
Характеристика работ:
- Скрайбирование пластин на кристаллы заданной геометрии на установках различных типов.
- Скрайбирование ситалловых пластин.
- Задание исходных параметров обрабатываемых пластин на наладочном пульте.
- Задание на пульте управления шага реза.
- Обломка пластин по габаритному размеру.
- Деление пластины на кристаллы после скрайбирования с помощью приспособлений.
- Точное деление пластин на кристаллы (вручную).
- Определение качества деления на глаз и под микроскопом.
- Разбраковка полученных кристаллов и контроль габаритов с помощью микрометра.
Должен знать:
- назначение, устройство и систему управления установки скрайбирования;
- правила пользования микроскопом;
- механические свойства полупроводниковых материалов;
- основные законы электротехники;
- основы оптики;
- технологические требования, предъявляемые к качеству и размерам кристаллов;
- правила пользования микрометром.
Примеры работ:
- 1. Кристаллы - отбраковка замаркированных кристаллов с помощью магнитного сепаратора.
- 2. Пластины кремния и керамические - скрайбирование.
- 3. Пластины - ломка на кристаллы.
- 4. Подложки ситалловые - скрайбирование.
4-й разряд
Характеристика работ:
- Скрайбирование пластин на кристаллы заданной геометрии с размерами разделяющей дорожки не более 100 мкм.
- Настройка установки и режущего инструмента (алмазного резца) на скрайбирование пластин заданных размеров.
- Контроль состояния резца под микроскопом.
- Самостоятельный выбор режимов резания.
- Замена режущего инструмента.
Должен знать:
- принцип работы полуавтоматов и автоматов для скрайбирования;
- методы настройки и наладки скрайберной установки;
- методы контроля величины усилия резца с помощью измерительного инструмента;
- требования, предъявляемые к качеству режущей кромки алмазного резца;
- методы контроля качества скрайбирования.
Примеры работ:
- Пластины - скрайбирование на установках типа "Алмаз".