Отрасль "Полупроводниковое производство"
2-й разряд
Характеристика работ:
- Ведение процессов диффузии примесей (бора, фосфора) в кремний и создание защитных покрытий химико-термическим методом (под руководством рабочего высшей квалификации).
- Окисление пластин кремния в потоке газов и паров воды.
- Загрузка и выгрузка пластин кремния.
- Измерение температуры рабочей зоны установки и наблюдение за другими режимами с помощью контрольно-измерительных приборов и термопар.
- Изготовление шлифов на пластинах кремния и определение по ним глубины диффузии.
- Вжигание металлизированных контактов (алюминий, золото) в кремний.
- Взвешивание диффузанта и его загрузка.
Должен знать:
- наименование, назначение важнейших частей и принцип действия установок для проведения процессов окисления;
- назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов, ротаметров, контактных термометров;
- методы определения толщины окислов по интерференционным полосам в сравнении с таблицей;
- основные свойства полупроводниковых материалов (германий, кремний) и материалов, применяемых для легирования (бор, фосфор и их соединения);
- основы теории получения р-п переходов (диодов и триодов);
- принцип действия установок измерения удельного сопротивления четырехзондовым методом.
Примеры работ:
- 1. Пластины кремния, германия - термообработка перед фотолитографией.
- 2. Пленки окисные - получение методом контролируемого низкотемпературного окисления моносилана кислородом в среде инертного газа.
- 3. Подложки - насыщение бором.
3-й разряд
Характеристика работ:
- Ведение процессов окисления, диффузии примесей в один из видов полупроводникового материала на налаженном оборудовании определенного типа.
- Измерение толщины окисла и дрейфовой области кремниевых пластин.
- Изготовление косых и сферических шлифов, выявление переходов, измерение глубины р-п перехода поверхностного сопротивления и концентрации примесей.
- Контроль режима диффузионного процесса.
- Загрузка и выгрузка пластин с помощью автоматического загрузчика.
- Контроль качества пластин после диффузии и окисления.
- Комплектация (формирование) партий эпитаксиальных структур.
Должен знать:
- устройство и способы подналадки обслуживаемых оборудования и установок;
- методы измерения температуры в рабочей зоне установки;
- степени осушки газа;
- свойства газов, применяемых материалов;
- основные законы электротехники и вакуумной техники в пределах выполняемых работ;
- влияние различных факторов на параметры диффузионных слоев;
- устройство приборов для контроля процесса;
- методы измерения поверхностного сопротивления;
- методы контроля толщины дрейфовой области.
Примеры работ:
- 1. Диффузия золота.
- 2. Стекло боросиликатное - диффузия бора.
- 3. Стекла растворимые - диффузия сурьмы.
- 4. Структуры кремниевые - геттерирование с помощью пленки SiO2 с одновременной диффузией никеля.
4-й разряд
Характеристика работ:
- Окисление и диффузия примесей в германий, кремний и арсенид галлия с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов.
- Отжиг ионно-легированных слоев.
- Ведение процесса дрейфа ионов лития в пластины кремния.
- Одновременное проведение двух процессов окисления или диффузии.
- Дозирование легирующих элементов.
- Подготовка газораспределительного пульта к работе.
- Сборка и наладка отдельных узлов газовой системы (определение точки росы и содержания кислорода в технологических газах).
- Наблюдение за температурой и другими режимами и регулирование их.
- Определение неисправностей в работе оборудования.
- Измерение электрических параметров р-п переходов, резисторов и характеристик микросхем.
Должен знать:
- устройство установок с высокочастотным нагревом, установок дрейфа, водородной, вакуумной и силитовых печей;
- устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов (термопар, гальванометров, осциллографов, вакуумметров и др.);
- методы измерения температурного профиля диффузионной печи;
- основные свойства полупроводниковых материалов (германий, арсенид галлия, кремний);
- свойства газов (водород, азот, кислород);
- основные свойства диффузантов;
- режимы процесса;
- способы и методы контроля;
- элементарный расчет параметров диффузионных слоев;
- основные свойства оксидных пленок, р-п, п-п переходов;
- методы их получения и контроля.
Примеры работ:
- 1. Диффузия мышьяка, сурьмы.
- 2. Диффузия фосфора из треххлористого фосфора, оксихлорена и из легированных пленок.
- 3. Диффузия бора из нитрида бора и трибромида бора.
- 4. Диффузия бора и золота, фосфора и золота (одновременное проведение процесса).
- 5. Кремний - окисление в парах HCl.
- 6. Пластины кремния - термическое окисление в печах типа СДО 125/3-12.
5-й разряд
Характеристика работ:
- Ведение сложных процессов диффузии и окисления в диффузионных печах различных типов (в том числе с программным управлением) с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов.
- Составление программ проведения процесса.
- Введение легирующих присадок в кремний, германий, арсенид галлия.
- Обслуживание печей непрерывного действия, водородной, вакуумной установок.
- Измерение электропараметров БИС, СБИС и транзисторных структур.
- Проведение элементарного расчета параметров диффузионных слоев.
- Анализ экспериментальных данных по результатам измерений параметров диффузионных слоев, окисных пленок.
- Контроль и корректировка режимов технологических процессов диффузии, окисления, отжига ионно-легированных слоев.
- Сборка, вакуумирование и отпайка кварцевых ампул с мышьяком, сурьмой, бором и их соединениями в качестве лигатуры.
- Сборка газовой системы и проверка ее герметичности.
- Определение неисправностей в работе оборудования и их устранение.
Должен знать:
- электрические и газовые схемы обслуживаемого оборудования, правила его наладки на заданный режим;
- правила настройки и регулирования приборов для контроля процесса;
- очистительную систему для газов, поступающих в установку;
- правила определения режимов работы;
- влияние характеристик диффузионных слоев на параметры получаемых приборов.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ:
- 1. Диффузия цинка в парах мышьяка или фосфора в тройные соединения.
- 2. Пластины кремния - диффузия бора, фосфора, мышьяка в печах с программным управлением типа СДО-125/3-15.
- 3. Пластины кремния - окисление при повышенном давлении; создание скрытых слоев; легирование сурьмой и мышьяком в печах с программным управлением.
- 4. Пластины кремния - создание подзатворного диэлектрика и контроль его параметров.
6-й разряд
Характеристика работ:
- Ведение сложных процессов диффузии, окисления с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов.
- Обслуживание печей и установок любого типа, в т.
- ч.
- и с программным управлением.
- Обработка экспериментальных данных, построение графиков, таблиц по статистическим данным.
- Проведение расчета концентрационного профиля, поверхностной концентрации, типа проводимости слоев.
- Самостоятельное задание режимов, самостоятельная работа на полярископе и лазерном элипсометре, определение плотности поверхностных состояний по вольт-емкостным характеристикам при изготовлении канальных БИС.
- Расчет и экспериментальное определение профиля распределения примеси.
- Работы на автоматических диффузионных установках - налаживание, корректировка режимов в процессе работы и контроль.
Должен знать:
- конструкцию, способы и правила проверки на точность оборудования и устройств различных типов для проведения процесса диффузии;
- теорию процессов диффузии и окисления;
- влияние различных параметров на характеристики диффузионных слоев;
- способы и методы определения годности переходов;
- физико-химические свойства применяемых материалов;
- расчеты, связанные с проведением процессов диффузии.
Требуется среднее профессиональное образование.
7-й разряд
Характеристика работ:
- Ведение сложных высокотемпературных процессов диффузии на оборудовании и оборудовании с микропроцессорным программным управлением с применением различных типов диффузантов.
- Ведение процесса окисления кремниевых пластин пирогенным способом.
- Расчет необходимых пропорций кислорода и водорода в их смеси.
- Одновременное проведение трех процессов окисления или диффузии.
- Выбор способа формирования диэлектрика в зависимости от назначения и требований нему.
- Получение р-п переходов и контроль их вольт-амперных характеристик на измерителе Л2-56.
- Сбор и обработка информации с помощью компьютера.
- Анализ причин возникновения брака на операциях высокотемпературных обработок и принятие мер по его устранению.
Должен знать:
- устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования;
- назначение и условия применения контрольно-измерительного оборудования (спектрофотометры MPVSD, "Suzfscan", ЛЭФ-3М);
- назначение окисных пленок и диффузионных слоев и требования к ним;
- факторы, определяющие скорость роста окислов;
- механизмы диффузии в полупроводниках;
- виды брака на термодиффузионных операциях, причины его возникновения и способы устранения;
- способы получения р-п переходов и методы определения их годности.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ:
- 1. Изолирующий окисел - пирогенное окисление.
- 2. Диффузия фосфора в поликремний - легирование затвора.