Отрасль "Полупроводниковое производство"
3 - 5 разряды
Характеристика работ:
- Ведение процессов восстановления полупроводниковых материалов (хлориды кремния, германия, моносилана и др.) в электрических печах с заданными электрофизическими, фотоэлектрическими и оптическими свойствами, геометрическими размерами, а также конденсации продуктов реакции из парогазовой смеси.
- Дозированное легирование в процессе восстановления.
- Наблюдение за режимами процессов и их регулирование.
- Регулирование температуры процесса согласно режимной карте, скорости подачи исходных компонентов и газа-восстановителя, силы тока и напряжения, давления и разрежения в системе, расхода газа и охлаждаемой воды.
- Наладка и обслуживание печей, вакуумной аппаратуры, установок тонкой очистки водорода, установок конденсации продуктов реакции, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации.
- Прием сырья и материалов, подача и загрузка сырья и полуфабрикатов.
- Подготовка лигатуры, графитовой и другой оснастки.
- Отбор проб.
- Продувка реактора нейтральным газом.
- Участие в ремонте обслуживаемого оборудования.
- Монтаж и демонтаж печей.
- Снятие реактора и переноска его к месту демонтажа.
- Проверка герметичности печей.
- Зарядка и наладка аппаратуры.
- Мойка реактора.
- Чистка печей, воздуховодов, конденсаторов от побочных продуктов реакции.
- Ведение записей показателей работы печи, хода технологического процесса.
- Вскрытие печей после процесса и выгрузка готовой продукции.
- Постоянное поддержание чистоты на рабочем месте.
- Дегазация оборудования и помещений при загрязнении их токсичными веществами.
Должен знать:
- технологическую схему производства;
- режимы и методы восстановления полупроводниковых материалов;
- устройство основного и вспомогательного оборудования, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации;
- физико-химические свойства сырья, готовой продукции и вспомогательных материалов;
- технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы;
- основа легированная и правила расчета лигатуры;
- режимные карты и рабочие инструкции;
- основы электротехники, вакуумной техники, физики, химии, электроники, кристаллографии;
- основы технологических процессов;
- правила выявления и устранения неисправностей в работе обслуживаемого оборудования;
- системы технологических и энергетических коммуникаций. При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 3-й разряд. При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов с корректировкой процесса;
- при подготовке и обработке оснастки - 4-й разряд. При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов с отработкой технологии по заданным свойствам, наладке технологии и технологического оборудования - 5-й разряд.
Требуется среднее профессиональное образование.
